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實(shí)驗(yàn)室及研發(fā)中心

R&D Center

X射線衍射(XRD)
原子力顯微鏡(AFM)
可靠性預(yù)測與評(píng)估實(shí)驗(yàn)室
半導(dǎo)體材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室
掃描電子顯微鏡(SEM)
鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司
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鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司(簡稱:鵬城微納),公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),具備先進(jìn)的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺(tái)和檢測設(shè)備平臺(tái),可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

公司核心業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體襯底材料的研發(fā)與制造,半導(dǎo)體外延片的研發(fā)與制造,半導(dǎo)體工藝裝備的研發(fā)與制造。包括了半導(dǎo)體裝備(工業(yè)母機(jī))研發(fā)、生產(chǎn)制造和銷售;主要是PVD、CVD和MBE系列設(shè)備;熱絲CVD金剛石工藝研發(fā)、金剛石工藝裝備的設(shè)計(jì)制造和銷售;重點(diǎn)是研發(fā)微米晶、納米晶金剛石晶圓片和工業(yè)母機(jī)的研發(fā)制造;以產(chǎn)學(xué)研的模式,圍繞第二代、第三代、第四代半導(dǎo)體,開展半導(dǎo)體材料制備和工業(yè)母機(jī)的研發(fā)和中試,研發(fā)設(shè)計(jì)自主可控的成套工藝裝備和關(guān)鍵零部件,研發(fā)設(shè)計(jì)自主可控的半導(dǎo)體襯底材料和外延片。

公司人才團(tuán)隊(duì)知識(shí)結(jié)構(gòu)完整,有來自工業(yè)界的高級(jí)裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì),他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。

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2025年5月15日是全省第十九個(gè)“政務(wù)公開日”,圍繞“深化政務(wù)公開、助力決戰(zhàn)決勝”的活動(dòng)主題,沈陽市科技創(chuàng)新服務(wù)中心以政務(wù)公開為契機(jī),結(jié)合沈陽市科技創(chuàng)新政策宣傳與助企服務(wù)需求,開展了專題調(diào)研走訪活動(dòng)。
鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產(chǎn)設(shè)備項(xiàng)目喜獲遼寧省創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎(jiǎng) 鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產(chǎn)設(shè)備項(xiàng)目喜獲遼寧省創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎(jiǎng)
近日,第十二屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽(遼寧賽區(qū))暨2023年遼寧創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽行業(yè)賽啟幕。中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽是全國范圍內(nèi)歷史最久、規(guī)格最高、影響力最廣的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)賽事。遼寧賽區(qū)比賽已成為省內(nèi)科技企業(yè)融資對(duì)接、技術(shù)合作、成果轉(zhuǎn)化的重要載體和平臺(tái)。本屆大賽累計(jì)吸引582家企業(yè)報(bào)名參賽,經(jīng)過前期城市賽的激烈角逐,遴選出234家企業(yè)晉級(jí)全省行業(yè)賽。今年,省行業(yè)賽將按照新一代信息技術(shù)、高端裝備制造、生物醫(yī)藥、新能源和新能源汽車、新材料、節(jié)能環(huán)保6大行業(yè)領(lǐng)域,分別在沈陽高新區(qū)、鞍山高新區(qū)、本溪高新區(qū)、錦州高新區(qū)、營口高新區(qū)以及盤錦高新區(qū)舉行,最終選拔出75家行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀企業(yè)。
遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司調(diào)研 遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司調(diào)研
近日,遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行5人來我司鵬城微納技術(shù)(沈陽)有限公司開展實(shí)地調(diào)研,全面了解微納項(xiàng)目開展情況,就鵬城微納今后的發(fā)展路線、部委省市相關(guān)政策申報(bào)進(jìn)行指導(dǎo)。隨后由鵬城微納吳向方先生帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)陪同區(qū)委常委、副區(qū)長關(guān)浩,區(qū)科技局主要領(lǐng)導(dǎo)參觀鵬城微納生產(chǎn)制造中心,也為各領(lǐng)導(dǎo)進(jìn)行了整體的公司介紹。
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